“탄탈럼 큐비트” 검색 결과

Quantum Computing Report · 양자컴퓨팅

코넬대, 크립톤 스퍼터링으로 탄탈럼 큐비트 증착 온도 200°C 달성

코넬대 Valla Fatemi 조교수 연구팀이 마그네트론 스퍼터링 공정에서 아르곤 대신 크립톤 가스를 적용해 실리콘 기판 위 α상 탄탈럼 박막의 증착 가능 온도를 기존 400°C 이상에서 200°C로 낮추는 데 성공했다. 해당 연구는 Nature Materials에 게재됐으며, 상용 반도체 파운드리의 후공정(BEOL) 열예산 범위 안에서 고성능 초전도 큐비트를 제조할 수 있는 경로를 제시했다.

2026년 8월 19일