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장비·소재·부품
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비아트론, RTP 장비 개발 — 3D 반도체 열처리 공정 경쟁력 확보
비아트론이 산업통상부가 주관하는 '소재부품장비 으뜸기업'에 선정됐다. 디스플레이 열처리 장비 전문기업인 비아트론은 국내 종합반도체 기업과 함께 120억여원 규모의 급속열처리(RTP) 장비를 개발할 계획이다. 이 장비는 3D D램 등 차세대 3D 반도체 공정에 최적화되며, 증착과 식각 공정 챔버를 하나로 통합한 올인원 플랫폼 형태로 개발된다. 비아트론은 레이저 기반의 정밀 온도 제어 기술을 적용해 기존 램프 기반 열처리 방식의 한계를 개선하겠다고 밝혔다.
SK하이닉스-비아트론, 에피택시 장비 개발 — 3D D램 적층 공정용
비아트론이 산업통상부가 주관하는 소재·부품·장비 으뜸기업으로 선정돼 SK하이닉스와 함께 3D 수직적층 메모리용 장비 개발 과제에 참여한다. 이 과제는 실리콘(Si)과 실리콘게르마늄(SiGe) 증착과 웨이퍼 계측·검사를 융합해 시간당 처리량(UPH) 5매 이상의 고생산성 에피택시 장비를 만드는 것을 목표로 하며, 총 120억원 규모다. 연구 기간은 올해부터 2029년까지이며, 목표 생산 능력은 연간 20대 이상이다. 비아트론은 이 과제에서 SK하이닉스와 협력해 Si/SiGe 적층 장비를 개발한다.