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UX-4 LED 광원 프로젝션 얼라이너, 전력반도체·MEMS 노광장비 주문개시
EE Times에 따르면 LED 광원을 적용한 UX-4 시리즈 풀필드 프로젝션 얼라이너가 주문 접수를 시작했다. UX-4 시리즈는 오랜 기간 전력반도체와 MEMS 생산 공정에서 효율을 높여온 노광장비로 알려져 있다. 이번에 공급되는 버전은 기존 광원 대신 LED 광원을 채택한 것이 특징이다.
한국엡손, 로봇사업 의료·식품 확대 — MEMS·타이밍 디바이스도 공략
한국엡손 모로후시 준 대표와 세이코엡손 요시다 준키치 글로벌 대표는 창립 30주년 미디어 간담회에서 전자·반도체 고객 중심의 스카라·6축 로봇 사업을 제조업, 의료, 식품 등으로 확대하겠다고 밝혔다. 숙련 인력 감소를 배경으로 공정 맞춤형 자동화 솔루션을 제공하고, MEMS 기반 힘 센서와 AI를 결합한 피지컬 AI 응용을 다음 단계로 제시했다. 잉크젯 솔루션 분야에서는 국내 스타트업 고산테크에 투자해 OLED 패널·태양전지 제조 기술 협력도 진행 중이다. 마이크로디바이스 사업에서는 AI 데이터센터·고속통신 장비 확대에 맞춰 수정(쿼츠) 가공과 반도체 기술을 결합한 타이밍 디바이스 시장을 공략하고 있다고 설명했다.