비아트론, 소부장 으뜸기업 선정...120억원 규모 반도체 RTP 장비 개발
요약
디스플레이 열처리 장비 전문기업 비아트론이 산업통상부 주관 '소재부품장비 으뜸기업'에 선정돼 국내 종합반도체 기업 등과 120억여원 규모 급속열처리(RTP) 장비를 개발한다고 밝혔다. 비아트론은 레이저 기반 정밀 온도 제어 기술로 기존 램프 방식의 한계를 개선하고, 증착·식각 공정 챔버를 통합한 올인원 플랫폼을 구축해 3D 반도체 공정에 최적화한 장비를 개발할 계획이라고 설명했다.
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소부장 으뜸기업 선정은 정부의 국산화 지원 프로그램이며, 비아트론은 기존 디스플레이용 열처리 기술을 반도체 RTP 장비로 확장하는 단계에 있다.
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