삼성 반도체 식각 레시피, 허용 범위 넘어 램리서치코리아에 유출

삼성전자 반도체 식각 공정 레시피가 장비업체 램리서치의 한국 조직인 램리서치코리아에 유출된 사실이 9일 확인됐다. 램리서치는 장비 성능 개선과 유지보수를 위해 삼성전자와 합의한 범위에서 일부 데이터를 받아왔는데, 이 과정에서 반출이 허용되지 않은 공정 레시피 정보가 별도 파일로 램리서치코리아에 넘어간 것으로 나타났다.