"노광장비"
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UX-4 LED 광원 프로젝션 얼라이너, 전력반도체·MEMS 노광장비 주문개시
EE Times에 따르면 LED 광원을 적용한 UX-4 시리즈 풀필드 프로젝션 얼라이너가 주문 접수를 시작했다. UX-4 시리즈는 오랜 기간 전력반도체와 MEMS 생산 공정에서 효율을 높여온 노광장비로 알려져 있다. 이번에 공급되는 버전은 기존 광원 대신 LED 광원을 채택한 것이 특징이다.
PI 마그레브 스테이지, EUV서 하이브리드 본딩으로 확장
EUV 노광장비 등에 쓰이던 자기부상(마그레브) 스테이지 기술이 첨단 패키징용 하이브리드 본딩 장비에도 적용되고 있다. 칩 간 연결 간격이 미세해지면서 후공정에도 전공정 수준의 초정밀 제어 기술이 필요해졌기 때문이다. 독일 정밀 모션제어 업체 PI는 미국 샌프란시스코에서 열린 세미콘 웨스트 2026에서 6-자유도(6-DOF) 마그레브 스테이지를 시연했다. 이 장치는 웨이퍼나 반도체 다이가 놓이는 스테이지를 자기력으로 공중에 띄워 앞뒤·좌우·위아래 이동과 세 축을 중심으로 한 회전을 정밀하게 제어한다.
중국 랑다오실렉, EUV 광원 시제품 공개 — 노광장비 국산화 걸음마
중국 스타트업 랑다오실렉이 상하이에서 열린 중국국제산업박람회에서 EUV 광원 시제품 'FlintNano LPP-OXXO'를 시연했다. 이 장비는 레이저 생성 플라즈마(LPP) 방식으로 15W 이상의 EUV 출력과 2% 이상의 변환 효율을 낸다고 밝혔다. 회사 측은 부품의 90%가 중국산이며 100시간 이상 연속 가동이 가능하다고 설명했지만, 실제 점등 시연은 하지 않았다. 트렌드포스에 따르면 이 기술이 상용화되기까지는 3~5년이 더 필요하다. 보도에서는 EUV 수집·조명 광학계, 레티클·웨이퍼 스테이지 등 완전한 노광장비를 구성할 공급망이 중국에 아직 없다는 점도 지적됐다.
ASML, 노광장비 교체 부품 가격 10% 인상 — 내년 1월 공급분부터
ASML이 한국에 공급하는 노광장비 교체용 부품 가격을 10% 일괄 인상하기로 했다. 인상 대상은 EUV와 DUV 노광장비에 쓰이는 모든 부품이며, 내년 1월 공급분부터 적용된다. ASML 본사는 지난달 초 한국법인을 통해 삼성과 SK에 인상안을 전달했고, 양사 구매조직과의 협의를 거쳐 인상이 확정됐다. 인상 대상에는 정기적으로 교체하는 소모성 부품부터 고장이나 성능 저하 시 교체하는 렌즈·반사경 등 광학계 부품, 광원 등 주요 구성품이 포함된다.
정책·수출통제·보조금중국, DUV 노광장비 343대 확보 — 7나노급 생산 잠재력 지목
미국 싱크탱크 CTS(Centre for Technology & Statecraft)는 중국 반도체 기업들이 2012년부터 2026년 초까지 ASML의 이머전 DUV 노광장비 343대를 들여왔다고 분석했다. 이 중 270대는 7나노급 공정에 쓰일 수 있는 Twinscan NXT:1980i이며, 22대는 NXT:2050i, 6대는 NXT:2000i로 추정된다. 네덜란드 정부는 2023년 9월 NXT:2000i 이상 기종에 수출 허가제를 도입했고 2024년 9월에는 NXT:1980i까지 규제를 확대했지만, 개별 수출 건은 여전히 승인될 수 있다. CTS는 저사양용으로 도입된 장비가 이후 더 발전된 공정에 전용될 수 있다는 허점을 지적하며 이머전 DUV 전체 수출 금지와 부품·유지보수 제한을 제안했다.
중국 EUV 기술, ASML 2004년 수준 — 노광장비 병목 여전
UBS 애널리스트 프랑수아자비에 부비니에는 중국의 리소그래피(노광장비) 기술이 2004년 당시 ASML과 비슷한 단계에 있다고 평가했다. 중국은 ACM리서치, AMEC, 나우라 등이 세계적 수준의 증착·세정·식각 장비를 양산하고 있지만, SMEE·AMIES·시카리어 등이 개발 중인 노광장비는 아직 첨단 노드 양산에 투입된 사례가 확인되지 않는다. SMEE는 2023년 28nm급까지 대응한다는 이머전 DUV 장비 SSA/800-10W를 공개했지만 실제 양산 채택 증거는 없었다. 2026년 7월에는 SMEE 계열사인 상하이아이성나가 이머전 DUV 스캐너를 양산 중이라는 보도가 다시 나왔으나 이번에도 구체적 근거는 제시되지 않았다.
아바텍 MLCC 신공장 착공, LG전자는 에스윈에 노광장비 공급
KIPOST가 뉴스레터 회원들이 한 주간 주목한 콘텐츠를 순서대로 소개했다. 아바텍이 MLCC 신공장 건설을 본격화한다는 소식이 첫 번째로 꼽혔다. 두 번째로는 LG전자가 중국 에스윈에 FO-PLP용 마스크리스 노광장비를 공급한다는 내용이 소개됐다. 세 번째로는 인텔발 파급효과와 AMD, 삼성 파운드리 관련 칼럼이 언급됐다.
ASML코리아 채용, FSE·UIR 확대 — 노광장비 반입 수요 신호
ASML코리아가 8월 27일 하반기 신입·경력 채용 계획을 밝혔다. 공개 채용 기간은 9월 1일부터 8일까지이며, 이공계 학사 대상 고객지원 엔지니어(CSE)와 석사 대상 기술지원 엔지니어(TSE), 현장 응용 엔지니어(FAE) 등을 모집한다. 근무지는 화성, 평택, 청주, 이천 등이다. CSE 직무는 현장지원 엔지니어(FSE)와 장비 설치·이전·업그레이드 담당 엔지니어(UIR) 등으로 구성되며, ASML코리아는 직무별 적합성 평가를 위한 프레젠테이션 등을 활용할 예정이다.
