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램리서치, AI 패키징 웨이퍼 한계 넘는 패널공정 지원
EE Times는 AI 반도체의 패키지 크기가 커지면서 전통적인 웨이퍼 기반 공정의 한계를 넘어서고 있다고 보도했다. 이에 따라 패널 레벨 처리 공정이 향후 첨단 패키징을 확장할 핵심 경로로 부상하고 있다고 전했다. 램리서치는 이러한 패널 공정 구현을 지원하는 장비업체로 언급됐다.
PSK, 램리서치와 베벨에처 특허소송 승소 — 쟁점특허 비침해 판결
서울중앙지방법원이 22일 램리서치가 PSK를 상대로 제기한 베벨 에처 특허침해소송에서 원고 패소 판결을 내렸다. 램리서치는 2021년 소송을 제기하며 특허 6건 침해를 주장했으나, PSK가 그중 5건을 무효화했고 마지막 쟁점특허 1건에 대해서도 비침해 판결을 받았다. 쟁점특허는 참엔지니어링의 '플라즈마 에칭 챔버' 특허로, 웨이퍼 테두리를 정밀하게 깎는 챔버 구조에 관한 기술이다. 재판 과정에서 램리서치는 PSK의 베벨 에처 '프레시아'에서 특허 구성요소가 도출된다고 주장했지만, PSK는 관련 수치가 영업비밀이라며 공개를 거부했다. 램리서치는 이번 판결에 항소할 수 있다.
램리서치, AI 수요에 식각·증착 장비 성장 자신감
글로벌 반도체 장비기업 램리서치가 AI 반도체 수요 확대에 따른 중장기 성장 전망에 자신감을 나타냈다. 팀 아처 램리서치 CEO는 10월 21일(현지시간) 2027회계연도 1분기(2026년 6월 29일~9월 27일) 실적발표 설명회에서 메모리 업체 간 차세대 D램 로드맵이 엇갈리며 불거진 장비 수요 둔화 우려를 반박했다. 그는 모든 반도체 소자 구조가 3차원으로 전환될수록 식각과 증착 공정의 비중이 높아진다고 설명했다.
장비·소재·부품램리서치 21일 실적발표, 식각장비 매출 성장 전망
세계 1위 식각장비 업체 램리서치가 21일(현지시간) 2027회계연도 1분기 실적을 발표한다. 분기 매출 전망은 전년비 52% 증가한 81억달러, 조정 주당순이익 전망은 72% 증가한 2.17달러다. 직전 분기(4~6월) 매출은 전년비 30% 증가한 67억달러였으며 매출총이익률 52%, 영업이익률 39%를 기록했다. 같은 주 22일에는 LG디스플레이도 3분기 실적을 발표하는데, 시장 컨센서스는 매출 6조5000억원, 영업이익 2500억원으로 원화 강세와 애플 아이폰 OLED 가격 인하 영향으로 기대치를 하회할 것으로 전망된다.
장비·소재·부품동원파츠, 램리서치용 식각부품 공장 인천에 신설
상장을 준비 중인 반도체 부품기업 동원파츠가 인천 남동공단에 400억원을 투입해 제7공장을 짓는다고 10월 12일 밝혔다. 이 공장은 세계 식각장비 1위 램리서치의 공급 물량에 대응하기 위한 생산시설로, 지난 8일 착공식이 열렸다. 동원파츠의 주력 제품은 샤워헤드와 챔버 부품 등 반도체 식각·증착 공정용 부품이다. 총 투자금 가운데 310억원은 기업공개(IPO) 공모자금으로 조달할 계획이며, 동원파츠는 10월 22일부터 28일까지 수요예측을 진행한 뒤 11월 2~3일 일반청약을 거쳐 코스닥에 상장할 예정이다.
장비·소재·부품램리서치, 비씨엔씨 디자인권 소송 1심 승소 — 엣지링 공급 영향
서울중앙지방법원 민사62부는 10월 8일 램리서치가 비씨엔씨를 상대로 제기한 디자인권 침해금지 등 청구 소송에서 원고 일부 승소로 판결했다. 재판부는 비씨엔씨가 생산하는 해당 제품의 생산과 유통을 금지하고 보관 중인 제품의 폐기를 명령했으며 손해배상금 지급도 명령했다. 다만 램리서치의 나머지 청구는 기각됐다. 이 소송은 램리서치가 2024년 1월 비씨엔씨의 반도체 식각 공정용 엣지링 제품을 문제 삼아 제기한 것으로, 비씨엔씨는 1심 판결에 불복해 항소할 전망이다.
장비·소재·부품램리서치, 국내 챔버 생산 15년 — 증착·식각 장비 공급 확대
램리서치가 경기도 오산·화성·용인 생산시설에서 15년간 제조한 반도체 장비용 챔버의 출하량이 1만5000호기를 달성했다고 8일 밝혔다. 챔버는 반도체 장비의 밀폐된 진공 공간 부품으로, 웨이퍼의 세정·증착·식각 등 공정이 실제 이뤄지는 곳이다. 램리서치는 국내 생산시설에서 증착 장비와 식각 장비를 제조·공급하고 있다. 지난해에는 국내 협력사로부터 1조원 이상의 제품과 서비스를 조달했으며, 약 100개 국내 기업과 공급망 네트워크를 구축했다. 협력사 상당수는 중소기업이다.
램리서치, 에지링 디자인소송 일부승소 — 국내 부품업체 분쟁 확산
서울중앙지방법원은 8일 램리서치가 애프터마켓 업체 비씨엔씨를 상대로 제기한 에지 링 디자인침해소송에서 원고 일부 승소로 판결했다. 에지 링은 식각장비 내 플라스마가 웨이퍼 밖으로 나가지 않도록 가두는 소모성 실리콘 부품이다. 쟁점이 된 램리서치 디자인 2건(등록번호 1026248·1026250)은 특허심판원이 2026년 5월 유효로 심결했고, 비씨엔씨는 이에 불복해 2026년 8월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 양사는 이와 별도로 램리서치 특허 3건을 두고도 분쟁 중이며, 특허심판원은 이 중 2건을 무효, 1건을 유효로 심결해 양측이 각각 특허법원에 불복 소송을 낸 상태다.
