"몰리브덴"
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와이엠씨, JDC와 몰리브덴 협력 - 반도체 소재 공급망 다변화
반도체 소재·부품 기업 와이엠씨가 아시아 최대 몰리브덴 기업인 중국 진두이청몰리브덴유한공사(JDC)와 전략적 협력 기본합의서를 체결했다. 협약식은 중국 시안 JDC 본사에서 열렸으며, 와이엠씨 박정근 부사장과 JDC 왕지위 부사장 등이 참석했다. JDC는 중국 산시성에 본사를 두고 원광 채굴부터 제련, 신소재 가공까지 수직계열화를 갖춘 업체로, 국유기업인 산시유색금속그룹의 계열사다. 몰리브덴은 고온에 강하고 열팽창이 적은 금속으로 소개됐다.
머크, 충북 음성에 몰리브덴 신소재 공장 개소 — 낸드용 전구체 공급
독일 화학기업 머크가 22일 충북 음성에 신규 몰리브덴(MoO2Cl2) 생산설비를 개소했다. 벤자민 하인 머크 일렉트로닉스 CEO는 이 설비가 향후 5년 내 반도체 소재 수요 급증에 대응하기 위한 선제 투자라고 밝혔다. 몰리브덴은 반도체 증착 공정에 쓰이는 차세대 전구체 소재로, 기존 전구체인 텅스텐보다 비저항이 낮아 칩 성능 향상에 유리하다. 빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 비즈니스 수석부사장은 몰리브덴이 3D 낸드에 먼저 채택됐으며 향후 D램과 첨단 로직 반도체로 채택이 확대될 것이라고 말했다. 머크의 한국 내 누적 투자 규모는 8억 2000만 유로에 달한다.
머크, 몰리브덴 전구체 적용을 D램·로직까지 확대
독일 머크가 낸드플래시에 적용 중인 이산화이염화몰리브덴(MoO₂Cl₂) 전구체를 D램과 로직 반도체로 확대 적용한다. 이를 위해 충북 음성에 전구체 생산시설을 구축하고 안산사업장의 소재 공급 시스템과 연계할 계획이다. 빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 사업 수석부사장은 10월 21일 서울 강남에서 열린 기자간담회에서 몰리브덴 적용을 낸드에서 시작해 D램과 로직으로 확대할 것이라고 밝혔다. 그는 구조가 작아질수록 구리와 텅스텐의 전기전도도 문제가 생겨 몰리브덴 적용이 늘어날 것이라고 설명했다. 몰리브덴은 금속 전극과 배선에 쓰이는 구리·텅스텐을 대체할 소재로 언급됐다.
장비·소재·부품몰리브덴 준위상마스크, 저NA EUV 해상도 끌어올려
국립양밍자오퉁대(NYCU)와 TSMC 연구진이 몰리브덴(Mo) 기반의 준위상전용마스크(quasi-POM)를 이용한 EUV 이미징 개선 논문을 발표했다. 전자기 시뮬레이션 결과, 기존 탄탈럼(Ta) 기반 흡수체 대비 이미지 대비가 최대 35% 향상되고 공통 초점창이 5배 넓어졌으며 최대 텔레센트리시티 오차는 92% 줄었다고 밝혔다. 이를 통해 모노폴 조명을 사용하는 0.33 개구수(NA) EUV 장비에서 12.5nm 하프피치 해상도 구현이 가능하다고 설명했다. 해당 연구는 2026년 8월 Optics Express에 게재됐다.