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멀티스케일인스트루먼트, 반도체 계측장비 투자 유치 — AFM 기술 활용
서울대학교기술지주가 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트에 신규 투자했다. 이번 투자에는 한국투자파트너스, 아이디벤처스, 기술보증기금도 함께 참여했다. 멀티스케일인스트루먼트는 수정 진동자 기반 원자현미경(AFM) 기술을 활용해 반도체 계측 속도와 정밀도를 높이는 장비를 개발하고 있다. 회사는 투자금을 바탕으로 시제품 제작과 산업용 장비 개발을 추진할 계획이다.
미쓰도요, 드레스덴에 계측센터 신설 — 유럽 반도체 장비 기술지원 확대
일본 정밀측정기기 업체 미쓰도요가 10월 15일 독일 드레스덴에 반도체 전용 계측 시설 '컴피턴스 센터'를 개소한다. 유럽 반도체 제조사와 장비·소재 업체를 대상으로 나노미터급 측정·검사 기술을 지원하며, 치수 정확도와 표면 특성, 형상 정밀도 등을 측정·검사한다. 미쓰도요의 정밀측정 장비와 응용기술을 결합해 운영하며, 기술 협력과 고객 교육 거점으로도 활용된다. 반도체 제조사 및 업계 관계자를 대상으로 최신 계측 기술을 실제 제조환경에 적용하는 교육도 진행한다.