멀티스케일인스트루먼트, 반도체 계측장비 투자 유치 — AFM 기술 활용

서울대학교기술지주가 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트에 신규 투자했다. 이번 투자에는 한국투자파트너스, 아이디벤처스, 기술보증기금도 함께 참여했다. 멀티스케일인스트루먼트는 수정 진동자 기반 원자현미경(AFM) 기술을 활용해 반도체 계측 속도와 정밀도를 높이는 장비를 개발하고 있다. 회사는 투자금을 바탕으로 시제품 제작과 산업용 장비 개발을 추진할 계획이다.
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