장비·소재·부품애플, OLED용 HMO 증착에 스퍼터링 검토 — 삼성·LG도 개발 중
애플이 차세대 OLED 패널에 적용할 고이동도 산화물(HMO) 기술 개발 과정에서 증착 방식으로 스퍼터링을 우선 검토하고 있는 것으로 파악됐다. 최종 양산 공정은 아직 확정되지 않았다. 삼성디스플레이와 LG디스플레이는 스퍼터링과 원자층증착(ALD) 방식을 모두 개발하고 있다. 업계에 따르면 ALD는 박막의 정밀도와 특성 제어 측면에서 유리하지만 장비와 소재 비용이 높아, 애플은 비용 부담이 적은 스퍼터링의 가능성을 살펴보고 있다.
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