후지필름이 삼성전자와의 협력을 위해 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 생산 기반을 확대하고 있다. 브라이언 오도넬리 후지필름 일렉트로닉 머티리얼즈 미국법인 사장 겸 후지필름 부사장은 디일렉과의 인터뷰에서 고객사와 가까운 평택 지역에서 EUV PR을 생산 중이라고 밝혔다. 그는 대량 양산 진입 전이지만 일부 EUV PR 제품이 주요 고객사 인증을 통과했다고 말했다. 후지필름은 일본 시즈오카와 한국 평택에 EUV PR 생산 기반을 확대했으며, 시즈오카는 후지필름의 선단 공정 거점이라고 설명했다.

디일렉2026-10-21

장비·소재·부품

JSR, 오창서 EUV용 금속산화물 포토레지스트(MOR) 첫 생산

일본 JSR의 한국법인 JSR마이크로코리아가 9월 30일 청주 오창 외국인투자지역 내 반도체 소재 공장을 준공했다. 이 공장은 극자외선(EUV) 공정용 금속산화물 기반 포토레지스트(Metal Oxide Resist, MOR)의 최종 생산공정을 수행하며, JSR이 처음으로 마련한 EUV MOR 생산거점이다. JSR은 2021년 미국 인프리아를 인수한 뒤 MOR 사업화를 추진해왔다. MOR은 무기물 기반 포토레지스트로 유기물 기반 소재보다 식각 저항이 우수해 노광 공정에서 패턴 무너짐을 줄이고 미세 패턴 구현에 유리하다는 특징이 있다.

디일렉2026-09-30

장비·소재·부품

TOK첨단재료, 평택공장 준공 — 국내 포토레지스트 생산기반 조성

일본 도쿄오카공업(TOK)의 한국법인 TOK첨단재료가 15일 경기도 평택 포승지구 제조시설 준공식을 열었다. TOK첨단재료는 5만5560제곱미터 부지에 총 1010억원을 투자해 1단계로 고순도 화학제품 제조시설을 구축했으며, 이 중 706억원은 외국인 직접투자다. 향후 포토레지스트(PR) 생산 기반도 구축할 계획이다. 준공식에는 김능식 경기경제청장, 최원용 평택시장, 타네이치 노리아키 TOK 대표이사 등이 참석했으며, 이번 투자로 약 70명이 신규 고용된다.

디일렉2026-09-15