장비·소재·부품코셈, 한빛레이저와 공동개발 — 대기압 SEM 반도체 검사장비 진입
전자현미경 업체 코셈이 레이저 장비 업체 한빛레이저와 공동개발 계약을 맺고 반도체 제조라인용 자동화 검사장비를 개발한다고 밝혔다. 진공 환경을 만들지 않고도 미세 구조를 관찰할 수 있는 대기압 주사전자현미경(SEM) 기술을 반도체 공정에 적용하는 것이 목표다. 코셈은 대기압 SEM 기술을, 한빛레이저는 장비 설계와 자동화 기술을 담당한다. SEM은 전자빔을 시료 표면에 주사해 관찰하는 장비로, 광학현미경보다 높은 해상도로 미세 결함을 분석할 수 있다.
디일렉 반도체