"ALD"
기업
용어
뉴스
SpaceX·xAI 콜로서스2 가스터빈, 대기오염 소송 기각 불발
SpaceX가 운영하는 xAI의 미시시피주 사우스헤이븐 콜로서스2 데이터센터 가스터빈을 둘러싼 대기오염방지법(Clean Air Act) 소송에서, 법원이 10월 30일 SpaceX의 소송 기각 신청을 받아들이지 않았다. 전국유색인지위향상협회(NAACP)가 남부환경법센터(SELC)와 어스저스티스를 통해 제기한 이 소송은 xAI와 자회사 MZX테크가 지난해 사우스헤이븐에 27기의 가스터빈을 필요한 허가 없이 설치했다고 주장한다. SELC는 해당 설비가 질소산화물 5,000톤 이상, 미세먼지 400톤, 발암물질인 포름알데히드 47톤을 연간 배출할 수 있다고 주장했다. 법원은 xAI가 터빈을 허가 면제 대상인 '이동식 장비'로 분류하려 한 주장도 받아들이지 않았으며, 앞서 법무부(DOJ)의 소송 기각 요청도 2주 전 같은 법원에서 거부됐다.
장비·소재·부품TCL 27C2A Pro 모니터, 미니LED FALD 2304존 탑재
Tom's Hardware가 TCL의 27인치 QD-미니LED 4K 게이밍 모니터 27C2A Pro를 리뷰했다. 이 제품은 2,304개 디밍존을 갖춘 풀어레이 로컬디밍(FALD) 백라이트를 적용했으며, HDR 모드에서 3% 윈도우 기준 2,000니트, SDR 풀필드 기준 650니트 밝기를 구현한다고 설명했다. 퀀텀닷 레이어로 DCI-P3 색영역 100% 이상을 지원하며, 4K에서 160Hz, FHD에서 320Hz 주사율을 제공한다. 매체는 밝기 측정값이 제조사 발표와 실측에서 거의 일치했다고 전했다.
장비·소재·부품ALD 원자층증착, 나노시트·D램 커패시터 공정 핵심으로
원자층증착(ALD)은 1974년 핀란드의 투오모 순톨라와 동료들이 첫 특허를 출원한 기술로, 20년 전 칩이 소형화되고 3차원 구조로 바뀌면서 기존 공정이 공정 편차를 감당하지 못하자 필수 공정으로 자리 잡았다. 현재 ALD는 나노시트 채널, 고종횡비(HAR) 콘택, D램 커패시터 스택 등에서 옹스트롬 단위의 두께 제어와 거의 완벽한 단차 피복성을 구현하는 데 쓰인다. 해당 기고문은 이 같은 정밀도가 박막 아래 표면에서 갈린다는 점을 다룰 예정이나, 제공된 본문은 서두에서 끊겨 구체적 내용은 확인되지 않는다.

아스플로, ALD 장비용 하스텔로이 배관 수주 — 부품 매출 비중 확대
반도체 배관 부품업체 아스플로가 글로벌 장비업체 L사에 이어 네덜란드 ALD 장비업체 A사에도 장비 내부 배관 부품을 공급한다. A사로부터 하스텔로이 소재 용접 조립 배관(웰드먼트)을 수주한 것으로 확인됐다. 이번 수주로 반도체 공장 배관 중심이던 아스플로의 매출 구조에서 장비 내부 부품 비중이 커질 것으로 보인다. 증권가는 아스플로의 내년 매출이 올해의 두 배 가량으로 확대될 것으로 전망했다.

리눅스 커널에 토르발즈 첫 AI 패치 — 캐시 경합 버그 수정
리눅스 커널 개발자 리누스 토르발즈가 LLM의 도움을 받아 작성한 자신의 첫 패치를 개발 브랜치에 올렸다. 이 패치는 여러 CPU가 동일 파일을 동시에 읽을 때 발생하는 캐시 경합 문제를 해결하려는 것으로, 공유 라이브러리·데이터베이스·웹서버 환경에서 겪던 오래된 이슈다. 토르발즈는 전용 합성 벤치마크에서 23배 성능 향상을 확인했다고 밝혔지만, 실제 워크로드에서는 그 정도 수치가 나타나지 않을 것이라고 덧붙였다. 그는 그동안 커널 코드 기여에 AI 도구 사용을 허용하는 방향으로 입장을 바꿔왔고, 패치 작성 시 AI 사용 여부를 공개하도록 요구하던 정책도 폐지하기로 했다.
장비·소재·부품유진테크·코쿠사이 ALD 장비 특허분쟁, 2건 심리 결론 확정
일본 코쿠사이와 유진테크가 다투는 반도체 ALD 장비 특허 4건 중 2건에 대한 법적 판단이 확정됐다. 대법원은 10월 8일 코쿠사이의 '961 특허 관련 상고심 3건을 모두 기각해, 해당 특허 청구항 대부분이 무효라는 특허법원 판단을 확정했다. 또 다른 특허인 '644 특허는 코쿠사이가 4차례 정정해 권리범위가 좁아진 상태로 유효 판단이 9월 확정됐다. 나머지 '052 특허와 '277 특허는 아직 특허법원·대법원에서 다투고 있다. 코쿠사이는 2024년 유진테크를 상대로 특허침해소송을 제기했고, 유진테크는 특허심판원 무효심판 청구로 대응했다.
