케이씨텍이 올해 3분기 매출 약 1142억원, 영업이익 약 202억원을 기록했다고 4일 공시했다. 전년 동기 대비 매출은 19%, 영업이익은 35.8% 증가했다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 고객사의 반도체 생산능력 확대가 실적을 견인했다. 회사 측은 3분기 화학기계연마(CMP) 장비 매출이 높았다고 설명했으며, 반도체 소재 사업 매출은 전분기와 유사한 수준이라고 밝혔다.

디일렉2026-11-04

패키징·후공정

한화이센셜이 유리기판 도금·CMP 공정 인력 채용

한화이센셜이 유리 코어 기판(유리기판)을 차세대 성장동력으로 추진하며 핵심 공정 개발을 총괄할 인력을 채용하고 있는 것으로 11월 3일 파악됐다. 유리기판은 기존 유기 소재 기판을 유리로 대체해 전력 효율성과 내열 특성을 높이고 워피지(휨) 개선에도 유리한 기판이다. 회사는 유리관통전극(TGV) 내부를 구리로 채우는 도금과 표면을 평탄화하는 CMP 공정을 주력으로 개발할 계획이다. 도금 공정은 수십만 개의 미세 구멍을 빈 공간 없이 균일하게 채워야 하고 유리와 구리의 접착도 해결해야 해 유리기판 상용화의 핵심 병목으로 꼽힌다. 한화이센셜은 이와 함께 FC-BGA용 절연체도 개발하고 있다.

ZDNet Korea2026-11-03↗장비·소재·부품

ASM 플로어블카본, PECVD 공정에서 CMP 단계 축소 시도

ASM이 9월 29일 PECVD 공정의 신기술 '플로어블 카본(Flowable Carbon)'을 공개했다. 플로어블 카본은 액체처럼 유동성을 갖는 탄소막으로, 고주파(RF) 플라즈마로 전구체 가스를 분해해 생성된 라디칼과 이온이 웨이퍼에 흡착돼 곧바로 딱딱한 막을 형성하는 기존 PECVD 박막과 달리, 웨이퍼에 접촉해도 즉시 경화되지 않는 특성을 갖는다. 이러한 유동성으로 인해 고종횡비(HAR) 홈 구조에도 적용이 검토되고 있다.

디일렉2026-09-29