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SecDMP, 데이터 프리페처 보안 취약점 하드웨어로 차단
벨기에 KU 루벤과 프랑스 EURECOM 연구진이 데이터 메모리 의존형 프리페처(DMP)의 정보 유출을 막는 하드웨어 방어 기법 SecDMP를 발표했다. 연구팀은 RISC-V 프로세서에 오픈소스 DMP를 직접 구현해 기존 방어 기법이 일부 유출 유형을 막지 못한다는 점을 실증적으로 확인했다. SecDMP는 메모리에 비밀 데이터를 표시해 DMP가 이를 마이크로아키텍처에 인코딩하지 않도록 하면서도 공개 데이터 처리 성능은 유지한다. 연구팀은 SecDMP가 DMP를 적용하지 않은 기본 시나리오 대비 추가 유출을 일으키지 않음을 수학적으로 증명했다고 밝혔다. 해당 논문은 2026년 10월 arXiv에 공개됐다.
ZIF 레지스트, EUV·전자빔 노광서 톤 반전 거동 차이 확인
KU Leuven, 군산대, 브뤼셀자유대(VUB), imec 등 공동 연구진이 할로겐화 비정질 제올라이트 이미다졸레이트 프레임워크(a-ZIF) 레지스트에 관한 논문을 발표했다. 이 레지스트는 완전 건식 공정으로 증착되며, 전자빔(E-beam) 노광과 EUV 노광에서 서로 다른 톤 변환(tone conversion) 거동을 보인다는 점이 특징이다. 연구 결과는 ACS Applied Materials & Interfaces에 2026년 10월 게재됐다.
파운드리·공정imec, TMD 기반 MOS 전하 분석 — 2D 채널 소재 결함 측정법 제시
imec, KU Leuven, ASM 연구진이 전이금속 디칼코게나이드(TMD) 기반 금속-산화물-반도체(MOS) 구조의 전하 성분을 분석한 논문을 발표했다. 연구팀은 다중 주파수·다중 온도 조건의 커패시턴스-전압/컨덕턴스-전압(C-V/G-V) 스캔과 계면 트랩 밀도 프로파일 매핑을 홀 측정과 결합해, 완전 공핍된 소수층 TMD 기반 MOS 소자에서 계면 트랩, 산화막 경계 트랩, 이동 캐리어 등의 가변 전하 성분을 정량화했다. 해당 논문은 학술지 npj 2D Materials and Applications에 2026년 9월 게재됐다.
