글라스 세라믹 소재기업 하스가 강릉에서 열린 국책과제 워크숍에서 EUV 검사장비 반사광학계용 극저열팽창 광학유리 개발 성과를 공개했다. 직경 260mm, 두께 150mm급 대형 소재를 제조했으며 열팽창계수 0.02~0.1×10⁻⁶/K 등의 물성을 확보했다. 하스는 해당 국책과제의 총괄 및 1세부 과제 주관연구기관으로 2024년 7월부터 2028년 12월까지 소재 개발을 수행 중이다.
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