"식각"
기업
에이피티씨국내
APTC · 장비 · 식각플라즈마 식각 장비를 국산화한 국내 장비사.
비씨엔씨국내
BCNC · 부품·소모품 · 쿼츠식각 장비용 석영 부품을 만드는 국내 기업.
하나머티리얼즈국내
Hana Materials · 부품·소모품 · 실리콘 부품식각 장비용 실리콘 부품을 공급하는 국내 소모품 기업.
케이엔제이국내
KNJ · 부품·소모품 · SiC 부품식각 챔버용 SiC 링을 만드는 국내 소모품 기업.
램테크놀러지국내
RAM Technology · 소재 · 식각액반도체 공정용 식각액을 만드는 국내 소재사.
티씨케이국내
TCK · 부품·소모품 · SiC 부품식각 챔버용 SiC 부품에서 국내 점유가 높은 소모품 기업.
테스국내
TES · 장비 · 증착·식각증착과 건식 식각 장비를 함께 하는 국내 장비사.
램리서치
Lam Research · 장비 · 식각·증착고종횡비 식각에 강해 3D NAND 단수 경쟁의 열쇠를 쥔 장비사.
용어
뉴스
램리서치코리아 신임대표 김태원, 식각·CVD 20년 전문가
램리서치가 한국법인 신임 총괄대표이사로 김태원 전 식각 제품 그룹 임원을 선임했다고 6일 밝혔다. 김 신임 대표는 25년간 재직한 박준홍 전 대표의 뒤를 이어 한국 사업 전반을 맡는다. 서울대 화학공학과를 졸업하고 미국 캘리포니아대 산타바바라 캠퍼스에서 박사 학위를 받았으며, 2008년 램리서치 입사 후 식각 제품 그룹에서 생산성 솔루션, 제품 전개, 공정 개발 등을 담당했다. 미국 프리몬트 본사에서 경기도 용인으로 근무지를 옮겨 업무를 시작하며, 당분간 박 전 대표와 함께 업무를 인계할 계획이다.
장비·소재·부품램리서치 한국법인 대표 김태원 선임, CVD·식각 전문가 출신
램리서치는 6일 김태원 신임 한국법인 총괄 대표이사를 선임했다고 밝혔다. 김 신임 대표는 약 25년간 재직한 박준홍 전 대표의 뒤를 이어 한국 사업을 총괄한다. 그는 20년 이상 반도체 업계 경력을 가진 기술 전문가로 화학기상증착(CVD)과 식각 분야에서 폭넓은 경험을 보유하고 있다. 2008년 램리서치에 합류한 뒤 식각 제품 그룹에서 생산성 솔루션, 제품 전개, 공정 개발 등 주요 보직을 맡으며 엔지니어링 혁신과 글로벌 고객 협력을 이끌어 왔다.
삼성·애플, UTG 중앙 식각 기술 2028년 적용 검토
삼성전자와 애플이 폴더블폰 커버윈도인 울트라신글래스(UTG)의 접히는 중앙 부위를 얇게 식각하는 기술을 협력사와 논의 중인 것으로 알려졌다. 두 업체 모두 2028년 적용을 목표로 중앙 부위는 40마이크로미터 내외로 더 얇게, 접히지 않는 주변부는 100마이크로미터 이상으로 두껍게 만드는 방식을 검토하고 있다. 중앙을 얇게 식각한 부위는 충진재로 채우고 기존 UTG와 광학 특성이 다르지 않게 보완하는 과제가 남아 있다. 업계 관계자는 40마이크로미터보다 두꺼우면 접을 때 깨질 가능성이 커진다고 설명했고, 다른 관계자는 2028년 적용 여부의 최종 결정은 2027년 4분기쯔음 나올 것이라고 전망했다.
램리서치, AI 수요에 식각·증착 장비 성장 자신감
글로벌 반도체 장비기업 램리서치가 AI 반도체 수요 확대에 따른 중장기 성장 전망에 자신감을 나타냈다. 팀 아처 램리서치 CEO는 10월 21일(현지시간) 2027회계연도 1분기(2026년 6월 29일~9월 27일) 실적발표 설명회에서 메모리 업체 간 차세대 D램 로드맵이 엇갈리며 불거진 장비 수요 둔화 우려를 반박했다. 그는 모든 반도체 소자 구조가 3차원으로 전환될수록 식각과 증착 공정의 비중이 높아진다고 설명했다.
장비·소재·부품램리서치 21일 실적발표, 식각장비 매출 성장 전망
세계 1위 식각장비 업체 램리서치가 21일(현지시간) 2027회계연도 1분기 실적을 발표한다. 분기 매출 전망은 전년비 52% 증가한 81억달러, 조정 주당순이익 전망은 72% 증가한 2.17달러다. 직전 분기(4~6월) 매출은 전년비 30% 증가한 67억달러였으며 매출총이익률 52%, 영업이익률 39%를 기록했다. 같은 주 22일에는 LG디스플레이도 3분기 실적을 발표하는데, 시장 컨센서스는 매출 6조5000억원, 영업이익 2500억원으로 원화 강세와 애플 아이폰 OLED 가격 인하 영향으로 기대치를 하회할 것으로 전망된다.
장비·소재·부품동원파츠, 램리서치용 식각부품 공장 인천에 신설
상장을 준비 중인 반도체 부품기업 동원파츠가 인천 남동공단에 400억원을 투입해 제7공장을 짓는다고 10월 12일 밝혔다. 이 공장은 세계 식각장비 1위 램리서치의 공급 물량에 대응하기 위한 생산시설로, 지난 8일 착공식이 열렸다. 동원파츠의 주력 제품은 샤워헤드와 챔버 부품 등 반도체 식각·증착 공정용 부품이다. 총 투자금 가운데 310억원은 기업공개(IPO) 공모자금으로 조달할 계획이며, 동원파츠는 10월 22일부터 28일까지 수요예측을 진행한 뒤 11월 2~3일 일반청약을 거쳐 코스닥에 상장할 예정이다.
장비·소재·부품티씨케이 특허 정정 받아, SiC 포커스링 두고 디에스테크노와 공방 지속
반도체 소재업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 관련 특허('888 특허)에 대해 특허심판원에 청구한 정정이 지난 7일 인용됐다. 포커스링은 반도체 식각 공정에 쓰이는 소모성 부품이다. 티씨케이는 2019년 디에스테크노를 상대로 특허침해소송을 제기했고, 디에스테크노는 티씨케이 특허 4건에 대해 무효심판과 소극적 권리범위확인심판을 청구하며 맞서왔다. '888 특허는 특허심판원과 특허법원을 오가며 무효·유효 판단이 엇갈렸고, 디에스테크노는 특허법원에 심결취소소송을 제기해 심리가 진행 중이다. 앞서 티씨케이가 와이엠씨·와이컴을 상대로 제기한 유사 특허침해소송은 2025년 합의로 종결됐다.
램리서치, 국내 챔버 생산 15년 — 증착·식각 장비 공급 확대
램리서치가 경기도 오산·화성·용인 생산시설에서 15년간 제조한 반도체 장비용 챔버의 출하량이 1만5000호기를 달성했다고 8일 밝혔다. 챔버는 반도체 장비의 밀폐된 진공 공간 부품으로, 웨이퍼의 세정·증착·식각 등 공정이 실제 이뤄지는 곳이다. 램리서치는 국내 생산시설에서 증착 장비와 식각 장비를 제조·공급하고 있다. 지난해에는 국내 협력사로부터 1조원 이상의 제품과 서비스를 조달했으며, 약 100개 국내 기업과 공급망 네트워크를 구축했다. 협력사 상당수는 중소기업이다.