"이에스티"
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이에스티, 반도체·유리 코어 기판 ESC 공급 — 고객 9곳 확보
디스플레이용 정전척(ESC) 제조사 이에스티가 반도체와 유리 코어 기판 분야로 사업 영역을 넓힌다. 김영곤 대표는 10월20일 서울 여의도에서 기업공개(IPO) 기자간담회를 열고, 22개 잠재 고객사에 61개 제품의 퀄 테스트를 진행해 9개 고객사로부터 21개 제품 승인을 받았다고 밝혔다. 김 대표는 퀄 테스트가 계획대로 진행되면 2028년까지 누적 승인 제품이 57개로 늘고, 반도체 부문 매출도 올해 96억원에서 2028년 378억원으로 성장할 것이라고 전망했다. 회사는 나노코어·원익IPS와 유리 코어 기판용 ESC를 공동 개발해 10월 구리전해도금 공정용 ESC를 수주했으며, 어플라이드 머티어리얼즈와 개발한 식각 공정용 ESC는 다음달 양산 신뢰성 평가를 시작한다. 이번 IPO로 확보한 자금은 생산설비 확충과 기술개발 역량 강화에 쓰일 계획이다.
이에스티 유리기판·OLEDoS 확장, 코스닥 상장 추진
반도체·디스플레이용 부품 기업 이에스티가 금융위원회에 증권신고서를 제출하고, 소재·부품·장비 기업 기술특례 방식으로 코스닥 상장(IPO)을 추진한다고 21일 밝혔다. 대표 주관사는 대신증권이며, 공모주식 220만주를 전량 신주로 발행할 계획이다. 다음달 14일부터 20일까지 기관투자자 대상 수요예측을 거쳐 공모가를 확정하고, 22일부터 23일까지 일반청약을 진행한다. 회사는 유리기판과 올레도스(OLEDoS) 분야로 사업 영역을 확대하겠다는 계획도 밝혔다.
아이에스티이 시리우스2, SiCN 박막 트윈타입 6챔버로 생산성 50% 향상
아이에스티이가 2세대 탄질화규소(SiCN) 플라즈마 강화 화학기상증착(PECVD) 장비 '시리우스2'의 개발을 지난 6월 완료했다. 트윈 타입으로 6개의 공정 모듈(PM) 챔버를 적용해 웨이퍼 한 쌍을 동시에 이송·처리할 수 있으며, 4개의 PM 챔버를 탑재한 싱글 타입이던 1세대 대비 생산성을 높였다. 플라즈마를 이용해 저온에서도 SiCN 박막을 균일하게 형성하는 방식이다. 업계에 따르면 이번 장비 개발로 외산 장비와의 경쟁이 본격화될 전망이다.