장비·소재·부품삼성전자 블랭크마스크 수급 비상, EUV용 호야 증산 거절
삼성전자 반도체 구매 부서가 지난 9월 내년 생산 계획을 점검한 결과, 극자외선(EUV) 노광 공정에 쓰이는 핵심 재료인 '블랭크마스크' 사용량이 크게 늘어날 것으로 예상했습니다. 이에 일본 호야에 공급량을 늘려 달라고 요청했지만, 호야는 다른 반도체 회사들의 주문도 함께 늘고 있어 삼성의 요청을 모두 들어주기는 어렵다고 답했습니다. 블랭크마스크는 반도체 회로를 새기는 틀인 마스크를 만드는 데 쓰이는 재료입니다. 삼성전자의 올해 EUV 블랭크마스크 사용량은 5500장 안팎이며, 회사 내부 분석에 따르면 앞으로 3년 동안 해마다 25%가량 더 늘어날 것으로 전망됩니다.
디일렉 반도체