장비 · 펠리클·칠러 · 국내
에프에스티
마스크를 오염에서 보호하는 펠리클과 칠러를 함께 하는 국내 기업.

에프에스티 — 어떤 회사인가
공시(DART·SEC)로 확인한 사실만 적었습니다. 아래 출처에서 원문을 볼 수 있습니다.
무엇을 하는 회사인가
두 가지를 한다. 하나는 펠리클 — 노광 때 회로 원판인 마스크 위에 씌우는 얇은 막으로, 먼지가 마스크에 직접 앉지 않게 막는다. 먼지가 막 위에 앉으면 초점이 맞지 않아 웨이퍼에 찍히지 않는다. 반도체용과 디스플레이(LCD·OLED)용을 모두 만든다. 다른 하나는 칠러(온도조절장비) — 공정 챔버와 웨이퍼 주변 온도를 일정하게 유지하는 장비다.
매출 구성 (연결, 2026년 상반기 1,589억 원)
| 품목 | 매출 | 비중 |
|---|---|---|
| 펠리클 | 648억 원 | 41% |
| 펠리클 프레임 등 소모부품(자회사 에스피텍) | 400억 원 | 25% |
| 칠러·공정장비 | 442억 원 | 28% |
| 부품·수리 등 | 99억 원 | 6% |
그 밖의 사업
- 웨이퍼 모양의 무선 온도 센서(INTENSE) — 공정 중 웨이퍼 온도 분포를 잰다.
- 자회사: 프로브카드용 세라믹 기판(화인세라텍), 실리콘카바이드(SiC) 부품(에프엑스티).
- 2026년 3월 전극 페이스트 자회사 아이엠디를 흡수합병해 CMS사업부로 편입했다.
볼 것
- EUV 펠리클 — 노광이 EUV로 넘어가면 펠리클 소재와 요구 조건이 완전히 달라진다. 「EUV 펠리클」 기사가 나오면 개발인지, 고객 평가인지, 양산 공급인지 단계를 확인한다.
- 칠러는 장비라 고객 설비투자(CAPEX) 주기를 따라 출렁인다.
출처
밸류체인 위치
노광·식각·증착·세정·검사. 진입장벽이 가장 높은 층.
| 분류 | 장비 |
|---|---|
| 세부 | 펠리클·칠러 |
| 국가 | 한국국내 |
| 본사 | 경기 화성 |
| 주력 제품 | 펠리클칠러 |
| 상장 | 코스닥 · 종목코드 036810 |
| 법인 설립 | 1987년 (DART 기준 — 분할·합병으로 생긴 법인은 그 날짜) |
| 공시 | DART 공시 목록 → |
주요 고객·공급 관계는 적지 않았습니다. 업계에 도는 공급망 추정은 근거를 대기 어렵고, 틀리면 그 회사에 실질적인 피해가 됩니다. 공개적으로 확인된 것만 채웁니다. 상장 정보는 금융감독원 전자공시(DART)에서 가져옵니다. 재무는 아직 싣지 않습니다.
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