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장비 · 펠리클·칠러 · 국내

에프에스티

마스크를 오염에서 보호하는 펠리클과 칠러를 함께 하는 국내 기업.

FST한국 · 경기 화성확인일 2026-08-30공식 사이트 →

에프에스티 — 어떤 회사인가

공시(DART·SEC)로 확인한 사실만 적었습니다. 아래 출처에서 원문을 볼 수 있습니다.

무엇을 하는 회사인가

두 가지를 한다. 하나는 펠리클 — 노광 때 회로 원판인 마스크 위에 씌우는 얇은 막으로, 먼지가 마스크에 직접 앉지 않게 막는다. 먼지가 막 위에 앉으면 초점이 맞지 않아 웨이퍼에 찍히지 않는다. 반도체용과 디스플레이(LCD·OLED)용을 모두 만든다. 다른 하나는 칠러(온도조절장비) — 공정 챔버와 웨이퍼 주변 온도를 일정하게 유지하는 장비다.

매출 구성 (연결, 2026년 상반기 1,589억 원)

품목매출비중
펠리클648억 원41%
펠리클 프레임 등 소모부품(자회사 에스피텍)400억 원25%
칠러·공정장비442억 원28%
부품·수리 등99억 원6%

그 밖의 사업

  • 웨이퍼 모양의 무선 온도 센서(INTENSE) — 공정 중 웨이퍼 온도 분포를 잰다.
  • 자회사: 프로브카드용 세라믹 기판(화인세라텍), 실리콘카바이드(SiC) 부품(에프엑스티).
  • 2026년 3월 전극 페이스트 자회사 아이엠디를 흡수합병해 CMS사업부로 편입했다.

볼 것

  1. EUV 펠리클 — 노광이 EUV로 넘어가면 펠리클 소재와 요구 조건이 완전히 달라진다. 「EUV 펠리클」 기사가 나오면 개발인지, 고객 평가인지, 양산 공급인지 단계를 확인한다.
  2. 칠러는 장비라 고객 설비투자(CAPEX) 주기를 따라 출렁인다.

출처

밸류체인 위치

노광·식각·증착·세정·검사. 진입장벽이 가장 높은 층.

분류장비
세부펠리클·칠러
국가한국국내
본사경기 화성
주력 제품펠리클칠러
상장코스닥 · 종목코드 036810
법인 설립1987년 (DART 기준 — 분할·합병으로 생긴 법인은 그 날짜)
공시DART 공시 목록 →
주요 고객·공급 관계는 적지 않았습니다. 업계에 도는 공급망 추정은 근거를 대기 어렵고, 틀리면 그 회사에 실질적인 피해가 됩니다. 공개적으로 확인된 것만 채웁니다. 상장 정보는 금융감독원 전자공시(DART)에서 가져옵니다. 재무는 아직 싣지 않습니다.

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