삼성 식각 공정 레시피, 램리서치코리아로 유출 정황 포착

삼성전자 반도체 생산라인에 식각·증착 장비를 공급하는 램리서치의 한국 법인 램리서치코리아에 삼성전자의 식각 공정 레시피 정보가 유출된 사실이 9일 확인됐다. 램리서치는 장비 성능 개선과 유지보수를 위해 삼성전자와 합의한 범위에서 일부 생산 데이터를 받아왔으며, 이 데이터는 생산라인에 설치된 모니터링 서버 등에 저장돼 있었다. 그런데 이 과정에서 삼성전자가 반출을 허용하지 않은 공정 레시피 정보가 별도 파일로 램리서치코리아에 전달된 것으로 나타났다.
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