효율·산업 탈탄소전기신문
신성이엔지, SEDEX 2026에서 클린룸 습도 제어·오염 진단 설비 전시
신성이엔지가 10월 14일부터 16일까지 서울 코엑스에서 열리는 'SEDEX 2026(반도체대전)'에 참가해 반도체·디스플레이 생산공정용 클린룸 설비를 전시한다고 밝혔다. 주요 출품 제품은 수가습시스템, 제습 설비 EDM, 케미컬필터 내장형 팬필터유닛 ICF, 외기공조기 OAC다. 수가습시스템은 압축공기로 물을 미세 분사·기화시켜 습도를 조절하며, 회사 측에 따르면 이를 적용한 외기공조시스템은 증기가습 방식보다 전체 소비전력량을 30% 줄일 수 있다. EDM은 소형 데시칸트 휠을 적용해 저습도 환경을 조성하고, ICF는 별도 설치 공간 없이 화학적 오염물질을 제거한다. 부스에서는 미세 입자의 움직임과 유입 경로를 시각화하는 '미립자 가시화 시스템'과 핸디형 장치도 시연한다.
10월 13일
