KTR, 반도체·디스플레이 온실가스 배출·감축 계수 114건 개발

한국화학융합시험연구원(KTR)은 기후에너지환경부 '신기후체제대응 환경기술개발사업'의 '비이산화탄소 온실가스 배출계수 개발' 과제 주관기관으로 참여해 온실가스 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건을 개발했다고 16일 밝혔다. 2022년부터 국내 반도체·디스플레이 생산 현장에서 제조과정 중 온실가스 분해·소모 비율, 부생가스 발생 비율, 저감시설 제거 비율 등을 측정해 데이터를 축적했다.

감축계수 34건은 연소식 및 플라즈마식 스크러버 운영방식과 온실가스 종류, 공정 조건에 따른 저감효율을 반영했고, 배출계수 80건은 식각공정 주요 식각가스의 공정파괴율과 부생가스 발생비율 등을 반영했다. KTR은 새 계수를 현장에 적용한 결과 온실가스 배출량이 기존 기본 계수 대비 최대 20% 낮게 나타났다고 설명했다.

개발된 114건의 계수는 IPCC 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 등재됐다.